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热场一般包括(石墨材料)压环、隔热罩、上、中、下隔热罩、石墨坩埚(三瓣坩埚)、坩埚支撑杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流管、石墨螺栓。为了防止漏硅,炉底、金属电极和支撑杆都有保护板和保护套。
单晶炉石墨热场_等静压石墨热场_ 石墨热场系统简单来说就是用来拉单晶硅的完整的石墨加热系统。常见的有18寸石墨热场。?单晶石墨热场以22寸和24寸为主。一种流行的设计方案是用石墨材料制作热场隔热件。标准的石墨绝热材料由片状或毯状石墨化碳纤维组成,在靠近热场中心的内表面往往涂有一层石墨纸或碳-碳复合片,以提高热反射率,防止高压气流的侵蚀。由于石墨材料本身的多孔性和渗透性,不需要在隔热材料层之间预留额外的空间。石墨具有优异的隔热性能,其成本通常低于金属屏,并且非常易于使用。就制造成本、可靠性和可维护性而言,石墨绝缘软毡优于石墨绝缘硬毡。通过生产实践,金属隔热罩往往不适合环境恶劣的真空钎焊工艺。
焊料中的金属物质会沉积在金属隔热罩的表面。由于隔热罩的热膨胀系数与附着的焊料物质的热膨胀系数不同,金属隔热罩会弯曲断裂,降低金属隔热罩的隔热性能。在钎焊合金溅射的情况下,金属筛网容易损坏,导致筛网表面上的孔,热量将从这些孔传递。
当然,使用较厚的金属屏,尤其是钼合金屏,会延长金属热场的使用寿命,但会增加可观的成本。比较好的解决办法是用石墨材料做保温部件。实践证明,虽然在钎焊过程中会有大量焊料沉积在石墨隔热材料表面,但熔化的焊料与石墨隔热材料之间不会发生熔合。虽然有人可能会怀疑石墨材料比金属材料更容易吸水,水对钎焊过程有害,但实践证明,热场的反复加热和冷却可以有效地消除石墨绝热材料中的水。