石墨舟清洁工作的准备工作

石墨舟清洗前的准备工作:

(1)在分析了艇的涂层状况后，技术专家将确定石墨艇是否需要清洗，以及是否需要更换卡点。生产时，要清洗的船艇会交给设备人员进行清洗。

(2 )/ kloc-13/boat中硅片正常镀膜颜色为蓝色，晶圆内有非蓝色、多种颜色或晶圆间色差大，均为异常镀膜，需通过工艺确认异常原因。  
(3)在确定石墨 boat需要清洗后，设备、生产和技术将检查石墨 boat。2.1.5 石墨 boat损坏后，生产人员会将舟内的硅片全部取出，用CDA(压缩空气)检查石墨 boat内的碎片。

(3) 石墨当该艇使用近100次时，操作者需要及时检查涂层情况。如果涂层出现异常，需要进行清洁和确认。