第一次使用石墨舟的预处理该怎么做?
2022年07月26日
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石墨舟
石墨以其良好的化学和物理性能逐渐成为制造许多产品的材料,我国的石墨舟工业也日趋成熟,成为各个领域不可替代的产品。 石墨舟的预热和预处理方法有哪些?
一.石墨盒预处理(饱和)
1、工艺完成后,石墨舟经技术人员确认后,方可投入其他生产。
2、推荐的预处理(饱和)正常时间为200-240分钟。
3、为了更好的延长石墨舟的使用寿命,建议不要在空舟状态下进行预处理,最好安装假芯片或废芯片。
4、再次检查空石墨箱,确保完好,然后放入炉管开始预处理。 其他工艺与正常生产工艺没有区别。
5. 需要注意的是,在“沉积”过程中,该过程需要一个小时,然后再进行其他步骤。
二.预热
1、将需要预热的舟皿放入闲置的炉管中,然后用手打开真空泵的阀门。 此炉管将不进行处理。
2、温馨提示:预热时不要将硅片放入石墨盒中。
3、干燥后的石墨箱通过生产、工艺、设备进行检查。 如果没有发现损坏,则将石墨舟一起预热。
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