石墨舟装片房和石墨舟装载房是做什么用的?
2023年08月28日
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石墨模具
高纯石墨舟装片房:用以太阳能热水器制作行业与PECVD承重车配套设备、装取硅片、配置中效及高效过滤器,保证吹出来的气体超过清洁规定。
高纯石墨舟原理:
气体根据高效率过虑后,减振层均压,使清洁的气体气旋竖直单边送进装片作业区,从而保证了作业中居民区超过加工工艺规定的洁净度等级,实际操作作业人员在清洁的自然环境中往高纯石墨舟上用硅片。
高纯石墨舟要害特性:
1、能精确的使高纯石墨舟承重装片车精准定位;
2、选用不锈钢板出产制作,裸机构造牢固靠谱;
3、选用GK系列产品高效率空气过滤网3只;
4、PECVD承重车在里边可倾斜16度或转动190度;
5、清洁离心风机噪声低于6040db。
6、保证了作业中居民区超过加工工艺规定的洁净度等级150级。
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