PECVD石墨舟工序标准物质的使用?
关于规范物质,咱们都知道在计量时是做规范件运用的,石墨舟本文中讲到的规范物质将这一规范物质进行了详细化。
例如在PECVD石墨舟工序首要操作是运用机器手进行作业,因而所提及的规范物质为规范机械手、规范石墨舟及规范上料小车三部分。
众所周知,机械手会有相应的准确度,在运用一段时间后,会因为运用的原因会形成必定的误差,因而会形成在上料过程中夹石墨舟会歪斜,形成摔片现象。因而需要对机械手进行定时的校正,但是因为技能方面的问题,咱们不能总是去调整机械手,所以咱们将问题转向便利调整的石墨舟及上料小车上。
PECVD石墨舟在运用的过程中,不会形成什么大的问题,首要是其载体的问题,那就是上料小车。
上料小车在运用一段时间后会与机械手形成匹配不良,导致在上料的过程中出现各种问题,导致整体的上料质量指标动摇。
首先,上料小车在运用时会因为运用的原因会形成小车的不平稳,导致小车上石墨舟的方位偏移;再次,因为操作小车的人员不同,因而也会对机械手有不同的影响。
因为是一台机械手对应多台上料小车,因而咱们采纳对小车进行规范的办法。
一、咱们拟定规范小车(注:此小车并不是抱负状态下各方面参数均为最规范的小车,而是任一小车,首要是调整机械手与其对应联系)。并将石磨舟放置在小车上的方位及方向进行定位,咱们将其定义为规范,并以此来调整机械手,确保机械手在此小车和石墨舟的方位为最佳上料方位。
二、将小车的高度及地面的存放方位进行规则,选用8S规范定位办法,避免因为小车的高度方位等低级问题导致的上料时的摔片现象。
三、以此小车为规范,调整其他对应该机械手的小车,确保其规范小车的规范作用的发挥。
四、对机械手进行定时调试,确保机械手与小车的匹配性。
五、对所有小车进行定时保养维护,确保小车的规范一致性。
通过上述咱们办法的实施,有用的减少了上料过程中的摔片现象及对石磨舟的影响。
通过此案例,咱们还在其他工序对规范物质进行了拟定,如在PECVD石墨舟工序对不同颜色的片子进行分类,在印刷前就对问题片进行分类,能够下降生产成本,及在印刷过程中形成的材料浪费。并在印刷工序增加规范色板的电池片,确保分色时能完成目视化,减少了色差问题出现在概率。