石墨舟皿如何去垢-清洗法

石墨舟皿去垢前的检查工作：

石墨舟在使用过程中接近100次时需要操作人员及时检查镀膜情况，出现镀膜异常，需要进行清洗确认。

硅片在石墨舟内正常镀膜颜色为蓝色，片内出现非蓝色、多种颜色或片与片间颜色差异较大，都为镀膜异常，需要工艺确认异常原因。

由工艺人员对舟的镀膜情况进行分析后，确定石墨舟是否需要清洗以及卡点是否需要更换，生产将需清洗的舟交由设备人员清洗。

石墨舟确定需要清洗后，由设备、生产、工艺三方对石墨舟进行检查。做好以上检查后，接着就是去垢的方法：

1、打开酸槽排水阀，待废酸排尽，用水枪对酸槽进行冲洗。

2、关上阀门，将石墨舟放进酸槽中，打开进水阀门，往酸槽里放入纯水直到水能够淹没石墨舟为止，关闭水阀。然后在酸槽加入HF酸（4瓶），把清洗机的窗户关好，然后开始清洗（要在酸中浸泡6个小时左右）。清洗过程中戴好防酸碱手套，将石墨舟从酸槽中取出查看是否清洗干净，如果到时间还未洗干净，再继续清洗，直到干净为止。

3、清洗干净之后，放入水槽，用水枪冲洗后关上排水阀，放水，以水没过舟为准，漂洗一般需2个小时。

4、清洗完毕后，将石墨舟从水槽中取出，用气枪吹掉表面明显的水珠。

5、将石墨舟抬入专用烘箱，关上烘箱门锁紧；打开电源开关—风机开关—升温开关—报警开关；温控表设定温度80度。石墨舟在烘箱烘干6—8小时（经过测试石墨舟在烘箱烘干后与使用前的石墨舟无差别方可取出）。

6、设定温度20度，一般降温半个小时烘箱里的石墨舟达到常温，可以取出。

7、将石墨舟上的全部螺母扭紧并检查石墨舟全部的陶瓷件，需要更换工艺点的石墨舟，取出后需要入维修间专用货架等待维修。以上就是处理石墨舟皿表面的方法。