如何延长石墨热场器件的寿命呢?
2023年10月30日
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石墨热场器件
热场便是热体系。在机械中一般指单晶炉热场,便是单晶炉中的热体系。单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶资料熔化,用直拉法成长无错位单晶的设备。石墨热场简单的说便是用来拉单晶硅的整套石墨加热体系。最常见的是18寸的石墨热场。
众所周知,热场的组成部分如加热器、三瓣埚、石墨托、热屏等均由石墨加工而成。在生产过程中,常常能碰到加热器材损坏的现象,那么石墨热场器材损坏的原因是什么,应该采取什么样的措施来延长石墨热场器材的寿数呢?石墨热场器材的损坏,主要有人为和劣化两个方面的原因。人为方面只要加强管理,强化职工防备意识,就可以将丢失降到最低点。这儿主要讨论劣化。
首要我们来了解石墨的有关特性,1.耐高温性,石墨的熔点极高,在真空为3850度,在低压下提高,提高温度为2200度,与一般资料不同,当温度升高时石墨不但不软化,强度反而增高,在2500度时,石墨的抗拉强度反而增加一倍。
2.特别的抗热震性,石墨的热膨胀性具有各向异性,因此宏观膨胀系数不大,在温度突变的情况下,石墨的体积改变也不大,再加上其良好的导热性能,因此石墨的抗热震性良好。
诸上两点所述,石墨热场器材应该能够长期的在高温下稳定作业。
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