精品石墨热场加工步骤是什么?
在单晶炉热场,石墨热场造价不菲,现在出产石墨热场的厂家许多,故而石墨热场和石墨加工件良莠不齐,一套合格的石墨热场在单晶和多晶的出产中会节约很大的本钱,所以在石墨热场和热场配件的选购中大家一定要擦亮眼睛。
热场便是热体系,在机械中一般指单晶炉石墨热场,便是单晶炉中的热体系。单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法成长无错位单晶的设备。一种出产石墨热场的办法,其特征在于:包含以下进程:在计算机上使用绘图软件进行套裁模拟规划:依据石墨坩埚、外导流筒和内导流筒所要求的尺度用绘图软件绘出各自的二维图形,然后将石墨坩埚、外导流筒和内导流筒的二维图形套装在一起,依据石墨原材料的高度,调整各个器材之间的间隔间隔以及切削量,使用绘图软件标注模拟器材的各部位的尺度,得到一组用于器材毛坯加工的参数;
内外导流筒毛坯和石墨坩埚毛坯的切削加工进程:
一、径向锥面加工:将石墨原材料装夹在卧式车床的卡盘上,依据得到的加工内导流筒毛坯的参数,在石墨原材料的顶部先预留出内导流筒外沿部的高度,然后用固定在小刀架上的倾斜刀具在内导流筒外沿部的下方进行径向切入,沿原材料的一圈切出圆环状的缺口,缺口上部切至内导流筒外沿部与内导流筒的连接处,缺口的高度与参阅数据设定的内导流筒和外导流筒之间的轴向高度相同;
二、斜向锥面加工:将掏料刀具置于上述缺口处,调整小刀架上掏料刀具的刀杆的角度,使刀杆与轴向的夹角等于内导流筒的锥角的一半,进行斜向切入,切削至设定的内导流筒的底部,斜向切入的宽度与设定的内导流筒和外导流筒之间的径向宽度相同。
三、中心孔加工及别离:依据内导流筒底部孔的大小,用刀具沿石墨原材料中心向内导流筒的底部加工一个圆柱形的孔,然后选用“L”形刀具在径向方向上沿孔的底部向内导流筒的斜向锥面进行切削加工,切削至斜向锥面加工的位置,完结内导流筒毛坯与石墨原材料之间的别离。
四、依据进程绘制图纸得到的加工外导流筒毛坯的参数,依照上述进程的办法,完结外导流筒毛坯和石墨坩埚毛坯的切削加工进程。
五、内导流筒、外导流筒和石墨坩埚的成型加工进程:将别离后的内外导流筒毛坯和石墨坩埚毛坯,依照要求的尺度进行精细切削和加工,得到所需的内导流筒、外导流筒和石墨坩埚。