厂家为您介绍煅烧石墨加工的操作过程的步骤

一、工作的分配，为生产优质产品奠定基础。

二、职位的职责，如煅烧石墨零件的制备、石墨零件的清洗、石墨零件的干燥和煅烧。

三、工艺原理，即经过高温煅烧去除石墨加工过程中的挥发性物质，避免在硅芯的还原和拉伸过程中杂质污染多晶硅。

四、工艺指标

1、真空泵低真空至30格栅（1x10-3档）。

2、分散泵高真空至90格（1x 10-3档）。

3、烘烤炉高压启动后，升压20分钟，每次0.5V。

4、煅烧炉温度至1550℃。

五、操作方法

1、沸腾冷却水阀。

2、打开真空泵。

3、闭式分散泵制动刀、预热分散泵。

4、当低真空达到30格（1 x 10-3档）时，打开真空阀并封闭低真空阀。

5、打开高真空阀，高-90（1x10-3档）。

6、打开高压开关并在20分钟后增加电压。当真空度为80-90度时，压力增加到8(X5)，炉温为1550℃，恒温2-3小时。

7、缓慢中止冷却，通常10分钟，中止高压电源，中止分散泵，封闭真空阀，中止炉子，封闭冷却水阀。

8、撤除炉子后，戴上口罩和高纯度手套，取出石墨片，用洁净的塑料袋密封。

9、急停：先停真空泵，再切断电源，最终切断水。