石墨加热器如何设计?
2023年10月27日
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石墨加热器
设计石墨加热器可参阅以下几个过程:
一、选材和确认石墨加热器形状
石墨加热器一般用高纯石墨制成,高纯石墨的电阻率 ,加热器现在通常做成筒形。
二、确认石墨托碗壁厚
石墨托碗壁厚一般为3毫米—6毫米
三、确认石墨加热器内径
根据给定坩埚直径和石墨托碗壁厚,算出加热器内径。
Φ内=石英坩埚外径+2倍石墨托碗壁厚+2倍石墨托碗和加热器的空隙
若石墨托碗壁厚为a,石墨托碗与加热器的空隙为b(b=5毫米),
Φ内=Φ外坩+2a+2b=Φ外坩+2(a+b)
四、确认石墨加热器有用高度
通过长期实践,加热器有用长度为石英坩埚高的1.6倍至1.8倍。
若加热器高为H,石英坩埚高为h
H=(1.6~1.8)h 一般取H=1.7h
五、确认石墨加热器片数,算出片宽。
加热器一般为16片、20片、24片三种方式,现在一般为20片。
若加热器片宽为 ,片与片的空隙为2毫米
六、确认石墨加热器厚度
加热器采用并联电路方式导电,加热器总电阻为R,每联的电阻为R1,加热器的壁厚为d
七、确认石墨加热器外径
以上核算只能做参阅,在实践生产中,不一定用到单晶炉最大功率,所以核算和实践有一这间隔,但它毕竟给出一个规模,在实践制作加热器时还是十分有用的。
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