石墨热场的作用有哪些
石墨热场的作用:
跟着社会经济的开展,许多单晶硅制造商都精于石墨热场的使用,原因有二:
该领域的组成部分,如加热器,三瓣坩埚,石墨支架和热屏蔽,是由石墨在生产过程中,经常会遇到加热设备损坏的现象。那么石墨设备损坏的原因有哪些呢?应该选择什么方法来延伸石墨设备的寿数?石墨设备的损坏首要是人为和蜕变造成的。只需加强管理,强化员工的防备认识,就可以把丢失降到低点。这儿首要讨论的是退化。我们先来了解一下石墨的相关特性,
1.耐高温。石墨熔点高,真空下3850度,低压下2200度。与一般资料不同的是,当温度升高时,石墨不仅没有软化,反而强度添加,2500度时抗拉强度翻倍
2.特殊抗热震性。石墨的热膨胀是各向异性的,所以微膨胀系数不大。在温度骤变的情况下,石墨的体积变化不大。再加上其优异的导热功用,石墨的抗热震性十分优异。如上所述,石墨部件应该能够在高温下长时间安稳工作。
一般情况下,花瓣坩埚与保温罩、加热器等其他石墨设备相比,材质相同,生产厂家相同,工作环境相同。为什么使用寿数比保温罩和取暖器短许多?三瓣坩埚开裂的首要原因来自应时坩埚。1.由于熔融硅的密度高于固体硅的密度,在冷却过程中,坩埚的底部资料会使应时坩埚决裂,而应时坩埚则附着在三瓣坩埚上。当应时坩埚劈裂产生的应力大于三瓣坩埚受到的应力时,三瓣坩埚就会开裂,这也是坩埚剩余的底部资料会使三瓣坩埚决裂的原因。2.如果加热时间过长,应时坩埚质量不够,质料pH值不符合要求,都会导致漏硅、渗硅。熔融硅进入三瓣坩埚之间的缝隙冷却下来后,会损坏三瓣坩埚,二是使三瓣坩埚相互粘连,在清炉时或许分别导致开裂。3.在加热过程中,只有三瓣坩埚的热源来自两个方面,一是加热器的辐射,二是来自应时坩埚的传导,导致三瓣坩埚受热不均匀,受热时在某些方向膨胀,在另一些方向收缩,从而导致三瓣坩埚开裂。
正面和石墨毡保温作用好,厚度到达100mm,有效保证了径向梯度温度或许较小的情况。
热量长的原因是石墨坩埚厚度到达250mm,可以扎样品,所以上中下保温筒的口径会满足大,有满足的纵向散热功用。众所周知,石墨坩埚操作方法存在的问题会导致石墨坩埚操作时间的削减,从而添加生产厂家自身的本钱。