如何提高石墨坩埚的抗氧化性?
2023年11月16日
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石墨坩埚
通过石墨坩埚技术人员的研究发现,以金属硅粉为主要浸透材料,在关闭的匣钵中选用包埋法,能够制备出结构合理、功能梯度特性杰出的重合涂层,即SiC过渡层SiC细密层Si-SiO2复相涂层。跟着高温保温时刻的延长,涂层厚度和以SiC为主的外层SiO2含量添加。涂层与基体的结合主要是化学结合,既有机械结合,又有较高的结合强度。测试了涂层石墨坩埚的抗氧化性。实验成果表明,选用包埋法制备的抗氧化涂层在1100℃-1300℃具有优异的抗氧化性能。浸涂形成的单一涂层主要是SiC和Si3N4。
抗氧化实验成果表明,单一涂层具有杰出的抗氧化作用,但由于涂层与基体的膨胀系数不同,涂层的抗热震性较差,容易脱落。制备复合涂层时,内涂层主要为SiC,外涂层分别为MoSi2和Al2O3。
在1000℃-1300℃范围内抗氧化作用不明显。依据石墨涂层的性能测试成果,选用包埋法制备的石墨坩埚抗氧化涂层能够明显提高石墨坩埚的抗氧化才能,降低石墨坩埚基体的孔隙率,提高石墨坩埚的抗弯强度。
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