石墨坩埚断裂
1、运用不当。这个主要是在冷却降温拆炉这段时刻。运用者在拉晶的时分又会有一个缩短升温时刻和冷却时刻以及拆炉时刻的主意,行进出产功率无可厚非,这个能够了解。但是石墨这种材料能不能顶得住这个降温速度就要考量一下了。石墨材料在温度升高的情况下,强度方面会行进,换言之就是在温度下降的时分,强度会下降。降温过快,外壁和内壁之间的温差引起的应力,是否超过了石墨坩埚所能接受的规划,这个就要考虑一下了。
2、加工缺点。这类原因构成的石墨坩埚开裂后体现一般是从接缝处开裂,然后延张开。通常是沿笔直方向裂开。这类问题发生后比较简略发现,由于实在是太显着了。构成这类问题的原因主要是接缝过渡的角度(一般是105°或许115°)在相交点部分,没有选用倒圆角缓冲,加之加工进程中刀尖部分对埚体的微观撕裂,以及运用进程中坩埚本身的应力,构成开裂。
3、运送装卸装拆不当。运送装卸主要是在运送进程,这个和各个热场出产厂家的包装有关,也和物流公司有关。不过现在大部分都是选择自己送货了,这类原因在逐渐减少。装拆主要是在拉晶进程,尤其是新手辅助工拆炉会偶然有发生。
4、设计缺点。由于这个原因石墨坩埚开裂后体现一般就是在r部与上部坩埚结合部位,一般为横向开裂,且一般是两端断口低中心高;如果是全部裂开后再拼到一起的话,能够显着发现两端拼接口不能重合。真实的原因是在运用后坩埚上部壁厚均匀部分和下部逐渐变厚部分的应力会合在这个部位,构成应力会合,终究构成石墨坩埚开裂。
5、材料缺点。由于石墨坩埚本身的物理性能,主要是导热、热膨胀这两方面的原因,导致石墨坩埚在速冷速热的情况下,简略发生应力且不简略消除;另外在石墨出产进程中,石墨的压型、浸渍、焙烧、石墨化和提纯进程时刻长,不简略监测查验,尽管全体体现比较均一,但是在同一块石墨内部各个部分之间仍是存在必定的差异性,这就决议了石墨从根本上会存在必定的问题。