石墨坩埚损坏的主要原因有哪些?
一般情况下,花瓣石墨坩埚与其他石墨设备,如保温罩、加热器等相比,材质相同,生产厂家相同,工作环境相同。为什么它的使用寿命比保温罩和取暖器短很多?三瓣坩埚断裂的主要原因来自应时坩埚。
1.在加热过程中,只有三瓣石墨坩埚的热源来自两个方面,一个是来自加热器的辐射,另一个是来自应时坩埚的传导,导致三瓣坩埚加热不均匀,在加热过程中在某些方向膨胀,在另一些方向收缩,导致三瓣坩埚断裂。
2.由于熔融硅的密度高于固体硅,在冷却过程中,坩埚的底部材料会打破应时坩埚,而应时坩埚则附着在三瓣坩埚上。当应时坩埚破裂产生的应力大于三瓣坩埚所承受的应力时,三瓣坩埚就会破裂,这也是底料过多会使三瓣坩埚破裂的原因。
3.如果加热时间过长,应时坩埚(石墨坩埚)质量不合格,原料pH值不符合要求,都会导致漏硅、渗硅。熔融的硅渗入三瓣坩埚之间的缝隙冷却后,会损坏三瓣坩埚,另一种是使三瓣石墨坩埚相互粘连。当炉子被清洁时,它的分离可能导致破裂。
该领域的组成部分,如加热器,三瓣坩埚,石墨支架和热屏蔽,是由石墨。在生产过程中,经常会遇到加热装置损坏的现象。那么石墨器件损坏的原因是什么,应该采取什么措施来延长石墨器件的寿命呢?石墨器件损坏的原因主要有两个:人为和变质。只要加强管理,强化员工的防范意识,就可以把损失降到低点。本文主要讨论变质问题。首先,我们来了解一下石墨的特性。
1.耐高温。石墨的熔点非常高。在真空中3850度,低压升华,升华温度2200度。与一般材料不同的是,当温度升高时,石墨不仅没有软化,反而强度增加。在2500度时,石墨的抗拉强度加倍。
2.特殊抗热震性。石墨的热膨胀是各向异性的,所以宏观膨胀系数不大。在温度突变的情况下,石墨的体积变化不大。再加上其良好的导热性,石墨的抗热震性好。如上所述,石墨部件应该能够在高温下长时间稳定工作。
随着社会经济的发展,很多单晶硅生产厂家都精于石墨热领域的应用。原因有二:*石墨毡保温效果好,厚度达到100mm,有效保证了径向梯度温度可能较小的情况。其次,热周期长的原因是石墨坩埚厚度达到250mm,上中下保温筒直径可以扎样品,会足够大,有足够的纵向散热功能。众所周知,石墨坩埚在使用过程中出现的问题会导致石墨坩埚使用时间的减少,从而增加生产厂家自身的成本。