直拉单晶炉热场中石墨坩埚起什么作用?
2023年08月04日
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石墨坩埚
直拉单晶炉热场用石墨坩埚,该石墨坩埚由多个埚瓣拼装而成,每个埚瓣在其角落方位内壁设有暗槽,该暗槽内设有角落块.采用本发明可以避免石墨坩埚埚瓣接缝处呈现腐蚀开裂形成整个坩埚的报废,仅仅在石墨坩埚埚瓣接缝处呈现腐蚀变薄后进行角落块的替换即可解决问题,有效的延长坩埚寿命,减少了坩埚长时间运用可能带来的风险.
直拉法出产单晶硅是现在制备单晶硅的最首要办法,热场系统是硅资料成晶的最重要的条件之一,热场的温度梯度分布直接影响着是否能顺利地拉出单晶和操控单晶的质量好坏。因而热场的设计和改善对一个有竞争力的拉晶厂家来说非常重要。热场的部件首要包括石墨加热器、石墨坩埚、导流筒、保温筒、埚托、炉底护盘等等。
在拉制单晶的过程中,石墨坩埚作为关键核心部件的首要效果有如下几点:
(1)高温承载效果:装满多晶硅原料的石英坩埚要置于石墨坩埚里面,石墨坩埚要承载石英坩埚和多晶硅等原料的分量,确保高温石英坩埚变软后,原料不会泄漏出来,并且在拉晶过程中要承载原料做旋转运动,因而,对其力学功能要求比较高;
(2)传热效果:坩埚经过本身优良的导热功能,传导多晶硅原料消融所需的热量,消融温度在1600℃左右,因而,坩埚必须要有良好的高温导热功能;
(3)安全效果:在紧急情况停炉时,因为多晶硅冷却时体积胀大(大约为10%),坩埚短时间内会承受很大的应力,因石墨资料本身的强度较低,石墨坩埚在这种情况下一般都会炸裂而报废,甚至损坏相邻部件甚至整个热场,因而石墨坩埚强度较低是单晶出产安稳的危险,急需更新换代,运用契合拉晶需求的抗折强度大的产品。
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