导致石墨坩埚断裂的三大因素是什么?
2023年10月12日
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石墨坩埚
石墨坩埚开裂原因包括以下三点:
一、加工缺点。这类原因形成的石墨坩埚开裂后表现一般是从接缝处开裂,然后延伸开。通常是沿垂直方向裂开。这类问题发生后比较简单发现,由于实在是太明显了。形成这类问题的原因主要是接缝过渡的视点(一般是105°或者115°)在相交点部分,没有选用倒圆角缓冲,加之加工进程中刀尖部分对埚体的微观撕裂,以及使用进程中坩埚本身的应力,形成开裂。
二、使用不当。这个主要是在冷却降温拆炉这段时间。使用者在拉晶的时分又会有一个缩短升温时间和冷却时间以及拆炉时间的主意,进步出产功率无可厚非,这个可以理解。可是石墨这种材质能不能顶得住这个降温速度就要考量一下了。石墨材料在温度升高的情况下,强度方面会进步,换言之就是在温度降低的时分,强度会降低。降温过快,外壁和内壁之间的温差引起的应力,是否超过了石墨坩埚所能接受的规模,这个就要考虑一下了。
三、运输装卸装拆不当。运输装卸主要是在运输进程,这个和各个热场出产厂家的包装有关,也和物流公司有关。不过现在大部分都是选择自己送货了,这类原因在逐步减少。装拆主要是在拉晶进程,尤其是新手辅助工拆炉会偶然有发生。
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