在做半导体时石英坩埚为什么要套上石墨坩埚?
2023年10月28日
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石墨坩埚
仅仅会增加热阻,你放东西进去加热效果会变得很差。当然假如你套得十分十分紧的话,加热后石墨坩埚可能会裂开。石墨坩埚会在酒精灯上产生焚烧,石英坩埚因受热不均可能会导致呈现裂缝 。
石英坩埚可在1650度以下运用,分通明和不通明两种。用电弧法制的半通明石英坩埚是拉制大直径单石英坩埚晶硅,是开展大规模集成电路必不可少的根底资料。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚替代了小的通明石英坩埚。它具有高纯度、耐温性强、尺度大、精度高、保温性好、节约能源、质量安稳等长处。
石墨坩埚的主体质料,是结晶形天然石墨。故它保持着天然石墨原有的各种理化特性。
石墨坩埚具有杰出的热导性和耐高温性,在高温运用过程中,热膨胀系数小,对急热、急冷具有必定抗应变功能。对酸,碱性溶液的抗腐蚀性较强,具有优秀的化学安稳性。
石墨坩埚,因具有以上优秀的功能,所以在冶金、铸造、机械、化工等工业部门,被广泛用于合金工具钢的锻炼和有色金属及其合金的熔炼。并有着较好的技能经济效果。
直拉法出产单晶硅时的情况,石英坩埚为什么要套上石墨坩埚?
主要起辅助热场安稳性进行拉制单晶硅的效果
1.石墨坩埚杰出的热安稳性
2.石墨坩埚杰出的耐腐蚀、耐冲击功能、以保证产品质量的可靠性。
3.石墨坩埚杰出的耐强酸 、强碱。
4.石墨坩埚杰出的热传导功能:能够极大缩短熔炼时间,节约能源。
5.石墨坩埚的灰分小于300pp,确保贵金属在锻炼中不被污染。
具有杰出的中子减速功能,最早作为减速剂用于原子反应堆中,石墨反应堆是目前使用较多的一种原子反应堆。作为动力用的原子能反应堆中的减速资料应当具有高熔点、安稳、耐腐蚀的功能。
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