石墨坩埚在热场系统中有什么功能?
2023年10月28日
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石墨坩埚
直拉法出产单晶硅是现在制备单晶硅的最主要办法,热场体系是硅材料成晶的最重要的条件之一,热场的温度梯度分布直接影响着是否能顺畅地拉出单晶和操控单晶的质量好坏。因而热场的设计和改善对一个有竞争力的拉晶厂家来说非常重要。
石墨坩埚在热场体系中的功能 :
在拉制单晶的过程中,石墨坩埚作为要害核心部件的主要作用有如下几点:
(1)高温承载作用:装满多晶硅质料的石英坩埚要置于石墨坩埚里面,石墨坩埚要承载石英坩埚和多晶硅等质料的分量,保证高温石英坩埚变软后,质料不会走漏出来,而且在拉晶过程中要承载质料做旋转运动,因而,对其力学功能要求比较高;
(2)传热作用:坩埚经过本身优良的导热功能,传导多晶硅质料融化所需的热量,融化温度在1600℃左右,因而,坩埚有必要要有杰出的高温导热功能;
(3)安全作用:在紧急情况停炉时,因为多晶硅冷却时体积膨胀(大约为10%),坩埚短时间内会承受很大的应力,因石墨材料本身的强度较低,石墨坩埚在这种情况下一般都会迸裂而报废,甚至损坏相邻部件乃至整个热场,因而石墨坩埚强度较低是单晶出产稳定的隐患,急需更新换代,运用符合拉晶需求的抗折强度大的产品。
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