石墨舟如何维护?
石墨舟便是石墨模具。石墨模具自身是一种载体,能够把我们需求定位或定型的原材料和零部件一同放于石墨模具中高温烧结成型。时刻久了,石墨舟也需求清洗和维护。下面东莞捷诚小编就为大家共享一下石墨舟的相关常识。
1.清洗前供认
石墨舟在运用过程中挨近100次时需求操作人员及时检查镀膜状况,出现镀膜失常,需求进行清洗供认。硅片在石墨舟内正常镀膜颜色为蓝色,片内出现非蓝色、多种颜色或片与片间颜色差异较大,都为镀膜失常,需求工艺供认失常原因。由工艺人员对舟的镀膜状况进行分析后,承认石墨舟是否需求清洗以及卡点是否需求替换,出产将需清洗的舟交由设备人员清洗。石墨舟承认需求清洗后,由设备、出产、工艺三方对石墨舟进行检查,2.1.5石墨舟损坏后,由出产人员取出舟内全部的硅片,并运用CDA(压缩空气)对石墨舟内碎片进行整理,完毕后设备人员将其抬入现已配好必定份额HF溶液的酸槽中进行清洗。
2.石墨舟的清洗
翻开酸槽排水阀,待废酸排尽,用水枪对酸槽进行冲刷。关上阀门,将石墨舟放进酸槽中,翻开进水阀门,往酸槽里放入纯水直到水能够吞没石墨舟中止,关闭水阀。然后在酸槽参与HF酸(4瓶),把清洗机的窗户关好,然后开始清洗(要在酸中浸泡6个小时左右)。清洗过程中戴好防酸碱手套,将石墨舟从酸槽中取出检查是否清洗洁净,假设到时刻还未洗洁净,再继续清洗,直到洁净中止。清洗洁净之后,放入水槽,用水枪冲刷后关上排水阀,放水,以水没过舟为准,漂洗一般需2个小时。清洗完毕后,将石墨舟从水槽中取出,用气枪吹掉外表显着的水珠。将石墨舟抬入专用烘箱,关上烘箱门锁紧;翻开电源开关—风机开关—升温开关—报警开关;温控表设定温度80度。石墨舟在烘箱烘干6—8小时(通过测试石墨舟在烘箱烘干后与运用前的石墨舟无差别方可取出)。设定温度20度,一般降温半个小时烘箱里的石墨舟达到常温,能够取出。将石墨舟上的全部螺母扭紧并检查石墨舟全部的陶瓷件,需求替换工艺点的石墨舟,取出后需求入修补间专用货架等候修补。
3.石墨舟损坏处理方案
石墨舟舟片损坏:
A.石墨舟在频频重复运用清洗之后,不可避免出现老化龟裂,在按标准作业时发现舟片龟裂,应中止运用,由工艺设备承认后,入设备房修补替换,至修补好后能够继续运用。
B.石墨舟在运用中出现操作人员误操作或机械臂开裂等原因构成的舟片损坏,需按要求填写《事端陈述》,由工艺设备承认后,入设备房修补替换,修补好后能够继续运用。
石墨舟陶瓷件损坏:
A.石墨舟陶瓷件通过重复清洗、高温工艺,时刻长后会出现开裂、开裂。在出产运用中出现开裂,当班设备需求及时替换,然后不影响出产。
B.在清洗后陶瓷件出现开裂,等候清洗完毕烘干,取出后对陶瓷件进行替换。
