半导体工业用石墨网手机版是什么?
2023年09月18日
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石墨模具
半导体工业用石墨网手机版有较低灰分、高纯的功能要求,一般需求用到高纯石墨,通过纯化工序能够到达5~50ppm,在半导体工业中,高纯石墨主要是作为加热体系、保温罩、电极等存在,选用高纯石墨做这些部件也是充分利用了高纯石墨耐高温这一特点。高纯石墨的耐腐蚀、抗氧化、导电导热的长处使用到了半导体工业中,使工件使用寿命更长、更加减磨省电。我司选用德国半导体等级石墨资料,精细制造离子注入用石墨耗材,供给标准件及客制化规格。
高纯度石墨根据均匀细颗粒的特性可作为低原子序数资料,对离子、等离子具有较强的抗炮击才能,很强的抗腐蚀性,纯度高没有金属离子不会对半导体发生污染,金属部件暴露在离子注入设备中会造成高的损耗,故这时使用相应的石墨件来作屏蔽罩。用于等离子cvd用部件
等离子vcd用感受器、电极室、喷嘴、内衬、溅射用电极、movcd感受器等。
半导体石墨模具、燃料电池导流板、石墨基体、切硅棒用石墨垫、电子束蒸发用石墨内衬、玻璃金属封装用石墨舟、电子烧结模用石墨、离子注入用石墨部件、 单晶炉用石墨热场等。
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