石墨舟的HF清洗步骤

    一般石墨舟在工作100至150次后就应该进行清洗,这是由于石墨舟上的SiN会随着工作次数的增加而增加，影响石墨舟的正常运用。
    在室温条件下(<40°C)，将石墨舟的部件放入HF浓度(5–20%)的腐蚀槽内进行腐蚀。最好的浓度是10%，腐蚀时间为4~6小时。低浓度条件下，腐蚀槽会被发生的SiN颗粒污染，因而需求进行定期的过滤维护。浓度高于10%会对操作人员造成危险。全部部件应该被分隔放入腐蚀槽内并且不行相互接触，这样HF酸就可以腐蚀到任何部位，这关于石墨连接块而言更为重要。
    在2号纯水槽内将其用纯水漂洗4~6小时。
    用PH-试纸检查活动的水是不是中性的，有必要保证全部的蚀刻残渣(SiF4)都现已被洗掉，任何蚀刻残渣被带入炉管都或许引起沾污或许工艺问题。可以在石墨上看到白色的一层就是残渣，全部部件都有必要分隔放置这样可以防止酸液残留在其间。
    在85°C条件下，将分离的舟各部件烘干24小时。
    石墨像海绵相同可以蓄水并坚持比较长的时间;在100°C以上烘干或许是在未干的状态下将其送入炉管会引起水的遽然气化，这会使石墨破裂。将一个没有彻底枯燥的舟放入炉管还或许导致炉门边沿的腐蚀以及真空体系的过分堆积。
在提供的装置台大将舟装置好。检查有无危害。
    用CentroTherm提供的转矩扳手(0.6Nm)拧紧陶瓷螺丝，石墨螺丝比较易碎，因而有必要用手小心拧紧。