石墨舟装片房和石墨舟装载房有什么主要特点

  石墨舟装片房：用于太阳能工作与PECVD承载车配套、装取硅片、制作中效及高效过滤器，确保吹出的空气抵达净化要求。
　　石墨舟作业原理：
　　空气经过高效过滤后，阻尼层均压，使洁净的空气气流垂直单向送入装片作业区，然后确保了作业区内抵达工艺要求的洁净度，操作人员在洁净的环境中往石墨舟上装硅片。
　　石墨舟主要特点：
　　1、能精确的使石墨舟承载装片车定位；
　　2、选用不锈钢制作，整机结构安定可靠；
　　3、选用GK系列高效空气过滤器3只；
　　4、PECVD承载车在里面可歪斜15度或旋转180度；
　　5、净化风机噪音小于50dB。
　　6、确保了作业区内抵达工艺要求的洁净度100级。