石墨治具的使用要求
2024年03月18日
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石墨治具
石墨治具的运用要求
石墨治具是用于在半导体制造过程中承载、固定和保护芯片的石墨制件。在运用过程中,需求满意以下要求:
1.石墨治具应具有超卓的导热功能,以确保芯片在作业过程中散热超卓。
2.石墨治具的外表应润滑、平整,无划痕或凸起,避免对芯片构成危害。
3.石墨治具的规划应契合所承载的芯片尺寸和形状,以确保其稳定性和承载才能。
4.运用前应对石墨治具进行预热处理,以削减热冲击对其的影响。
5.运用后应对石墨治具进行清洁和保护,以坚持超卓的作业状况和延伸其运用寿数。
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