烧结石墨模是半导体工业上不可缺少的材料
2022年04月14日
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烧结石墨模具
目前西方发达国家金刚石工具制造中使用的石墨模具材料主要是超细晶粒结构、高纯度、高石墨化度的石墨材料,要求平均粒径小于15μm,甚至小于10μm,中等孔径小于2 μ m,用这种碳材料制成的石墨模具孔隙率小,结构致密,表面光洁度高,抗氧化能力强,平均使用寿命可达30-40次。金刚石模具要求硬度高,抗氧化性好,加工精度高。采用优质石墨原料,大大延长了模具的使用寿命,提高了抗氧化性。
用于热压金刚石工具的石墨模具在金刚石工具的制造过程中起到加热元件和模具支撑的双重作用。石墨模具的质量直接影响金刚石工具的尺寸精度、外观和形状。热压工艺要求:温度达到(1000±2)℃,成型压力16 ~ 50m pa,保温时间15 ~ 30min,环境非真空。在这种工作条件下,要求成型加热元件的石墨模具具有导电性、高电阻率、足够的机械强度、良好的抗氧化性和较长的使用寿命,以保证金刚石工具的尺寸精度和优异的性能。
烧结模具和其他金刚石烧结模具:利用人造石墨材料热变形小的特点,可以制造晶体管的烧结模具和支架,现在已经广泛使用,成为半导体工业发展不可缺少的材料。此外,石墨模具还用于铸铁模具、各种有色金属的耐用模具、铸钢的模具、耐热金属(钛、锆、钼等)的模具。)和用于焊接铁轨的铝热剂焊接模具等。
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