石墨零件可以放入液氮中冷却吗?
2022年08月22日
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石墨零件
在单晶硅生产中,经常会发现石墨零件的使用寿命往往比预期寿命短很多。 由于石墨部件更换过多,不仅增加了企业的生产成本,还增加了石墨煅烧次数和电能消耗。 同时,也制约了产能的有效利用。
发生这种情况主要有以下原因:
1 设计不合理
在使用石墨零件的过程中,一些看似是石墨问题导致的事故,其实是设计缺陷造成的。
因此,在设计石墨零件时,除了要考虑材料本身的牌号和规格外,还要充分考虑石墨零件在使用中所需的强度,确定其几何尺寸。
2 不当使用
在石墨零件使用的诸多问题中,石墨坩埚的破裂占了很大比例,而造成这种情况的原因中,使用不当是不可忽视的主要原因。
正常情况下,一个18"或20"的石墨坩埚可用于约45个炉子。 但是,有很多石墨坩埚在设计、选材、加工、煅烧等方面都没有问题,但使用寿命仍然很短,有的石墨坩埚破碎后,离其自然损耗还很远部分。
3 选材不正确
由于石墨部件在热场中所扮演的角色不同,因此它们所使用的材料必然会有所不同。 通常电极、连杆、加热器、加热器螺杆、石墨坩埚、导筒、导筒支撑环、保温筒等,这些部件都应采用等静压生产的结构精细、强度高的石墨材料进行加工。 以满足生产的实际需要。
其他如:底盘、反光板、防漏板、上盖板等器件可采用挤压生产或中粗结构石墨加工。 前提是在生产中,能保证满足生产要求。
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