石墨热场是单晶硅结晶的重要条件之一
2022年06月15日
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石墨热场
热场是单晶硅结晶的重要条件之一。热场的梯度分布直接影响单晶能否拉制,以及拉制单晶的质量,其材质直接影响热场的寿命。我公司与国内最早的单晶硅企业合作了十多年。18-22英寸石墨热场与国内外石墨材料合作开发成功,建立了自己的石墨热场生产基地。长期应用主要单晶硅生产基地。对使用的石墨材料和整个热场寿命进行了肯定,并为以后的生产特别制定了以下标准。
单晶硅炉石墨热场是一个物理、化学和几何的综合理论,是由专业研究人员经过多年的反复考证和多年的经验总结而形成的。
精细结构的中粗石墨用作热场的底部保护板。保温罩、上下罩采用进口等静压石墨作为加热器、坩埚、导流板、支撑杆、锅托等。,保证了石墨坩埚的强度和纯度。
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