石墨零件使用时特别注意什么?
2022年06月15日
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石墨零件
1使用方法不当
在石墨零件使用的诸多问题中,石墨坩埚的断裂占有很大比重,使用不当是不可忽视的主要原因。
正常情况下,一个18”或20”的石墨坩埚可以使用45炉左右。然而,虽然有很多石墨坩埚在设计、选材、加工、煅烧等方面都没有问题,但其使用寿命仍然很短,有些石墨坩埚在破碎后还远远达不到其自然损耗的程度。
在单晶硅生产中,经常发现石墨零件的使用寿命往往比预期寿命短得多。过多的更换石墨零件,增加了石墨煅烧的次数和电能的消耗,不仅增加了企业的生产成本,也制约了产能的有效发挥。
2设计不合理。
在石墨零件的使用过程中,有一些看似石墨问题的事故,其实很多都是设计上的缺陷造成的。
因此,在设计石墨零件时,除了材料本身的等级和规格外,还必须充分考虑石墨零件在使用中所要求的强度,并确定石墨零件的几何尺寸。
出现这种情况有几个原因:
3错误的材料选择
因为石墨在热场中的作用不同,所以使用的材料必然不同。一般情况下,电极、连杆、加热器、加热器螺杆、石墨坩埚、尾水管、尾水管支撑环、保温管都应采用等静压生产的细结构、高强度石墨材料,以满足生产的实际需要。
其他设备,如底盘、反射镜、防漏板、上盖板等。,可采用挤压或中粗结构石墨制造。前提是在生产中能满足生产要求。
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