单晶硅炉石墨热场有哪些用处?
2022年10月18日
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石墨热场
精细结构的中粗石墨用作热场的底部保护板。保温罩、上下罩采用进口等静压石墨作为加热器、坩埚、导流板、支撑杆、锅托等。保证了石墨坩埚的强度和纯度。
热场是单晶硅结晶的重要条件之一。热场的梯度分布直接影响单晶能否拉制,以及拉制单晶的质量,其材质直接影响热场的寿命。
单晶硅炉石墨热场是一个物理、化学和几何的综合理论,是由专业研究人员经过多年的反复考证和多年的经验总结而形成的。
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