真空炉石墨件该怎么拆卸清洗？

高纯石墨热场配件在什么标准下必须拆除和更换，在什么标准下必须清洗？

  热场是真空泵高温炉的关键部分，其优劣直接危及炉子的特性和运行成本。热场的设计方案多种多样，选择哪种方案的关键在于对生产过程的深入分析。大多数真空泵高温炉的热场由四个关键部件组成:电加热器及连接部件、隔热部件(或反射屏)、热场支撑点、钢制支承炉膛。这类配件因为材质或使用时间的问题，一般都要按时拆卸更换。高纯石墨热场的配件应该在什么标准下进行拆卸更换和清洗？

1.严格升温、熔化、重熔、停炉等。根据安全操作规程，维护高纯石墨部件。每次拆炉后，高纯石墨*配件必须仔细清洗，籽晶和每个高纯石墨热场配件的情况都要认真仔细记录。

2.检查高纯石墨*配件有无裂纹，特别是石墨坩埚、高纯石墨托盘和石墨坩埚杆。如有裂纹，先向生产车间负责人汇报，再进行拆除更换。用硅区分区域或向生产车间负责人汇报。在预计使用寿命前的5炉使用前，组长应进行检查和验证。在预计使用寿命前使用5炉后，生产车间负责人应进行检查和验证。

3.高纯度石墨*配件使用寿命到期后，高纯度石墨*配件(高纯度石墨托盘、钳壶杆、石墨坩埚)等会导致贷款逾期巨额损失的部件将被拆除，更换为新产品。已拆下的高纯石墨*配件将保留，多晶硅生产车间、技术部、生产部共同检查后解决。其他配件如电热器、保温管、排水管等都要仔细检查，看有没有小裂缝、小缺点。闷炉高纯石墨热场部分应做详细记录。

4.针对高纯石墨热场*配件的安全事故做好详细记录。高纯石墨*不太好的部分要做详细的记录，要归到具体的地址，防止混淆。  

5.鉴于使用寿命已到更换期限，正常情况下必须更换(或者让有经验的人鉴定，决定是否重复使用)。对使用年限前未拆除和更换、暂时不需要的，应密封在包装袋内，装入纸箱，标明炉号、炉号、拆除和更换原因、来源和时间，并妥善保管。

6.如果一个零件损坏(如三个阀坏了，一个阀坏了)但还没到使用寿命极限，可以一起使用或更换(对于只有几炉的新三阀坩埚，由生产车间负责人决定是否套用，如果能用且能凑成一套，则保存存放)。当密封存储被重复使用时，建议将其应用于净化炉。

7.每次停炉时，清除热场金属氧化物，并将高纯石墨片渗硅干净，引流管、保温罩应仔细擦洗干净，防止原料污染发生安全事故。在取放高纯石墨零件时，不仅要注意生命安全，还要注意高纯石墨零件的安全。