真空炉石墨配件该怎么清洗?
石墨热场配件的更换和清洁
第1点:
真空炉石墨配件使用寿命到期后,石墨配件(石墨托盘、坩埚杆、石墨坩埚)等可能因超期使用而造成重大损失的部件应拆除并更换新的。更换的石墨配件应密封,由单晶车间、技术部和生产部共同审查后进行处理。其他配件如加热器、保温管、尾水管等应仔细检查,看是否有微小的裂纹和缺陷。原则上,这些石墨配件可以连续使用,不会出现上述缺陷。有闷烧炉的石墨热场(石墨模具)配件应做好详细记录。
第2点:
升温、熔化、重熔、停炉等。应严格遵守以保护石墨部件。每次拆炉后,都要认真清理石墨配件,仔细检查籽晶和各种石墨热场配件的情况,并做好详细记录。
第3点:
详细记录发生事故的石墨热场配件。有问题的石墨配件应详细记录并分类放在指定的地方,以防混淆。
原则上,如果使用寿命已到更换期,就需要更换(或者由有经验的人鉴定,决定是否继续使用)。对尚未达到使用年限,暂时不使用的,要用塑料袋密封,用纸箱包装,标明炉号、炉号、更换原因、来源和日期,妥善保管。
第4点:
对于部分损坏的(如三瓣破碎、一瓣破碎),可以一起使用或更换(对于只有几炉的新三瓣坩埚,由车间主管决定是否使用;能使用且能一起使用的,能使用但暂时不用的,封存保管)。建议在净化炉中使用密封的产品,以便重复使用。
第5点:
检查石墨配件,特别是石墨坩埚、石墨托盘和石墨坩埚杆有无裂纹。如有裂纹,立即向车间主管汇报,并进行更换。如果有硅,做出判断或向车间负责人汇报。班组长负责5台炉在预计使用寿命前使用前的检查和审核。车间主管负责在预期使用寿命之前的5次加热后进行检查和评审。
第6点:
每次拆炉时,清理热场氧化物,清理石墨片上的渗硅。应仔细擦拭导流管和保温罩,以避免杂物污染原料的事故。取石墨网手机版件,除了注意人身安全外,小心处理,注意石墨件的安全。
石墨材料用于制造热场绝缘部件。标准的石墨绝热材料由片状或毯状石墨化碳纤维组成,在靠近热场中心的内表面往往涂有一层石墨纸或碳-碳复合片,以提高热反射率,防止高压气流的侵蚀。由于石墨材料本身的多孔性和渗透性,不需要在隔热材料层之间预留额外的空间。石墨具有优异的隔热性能,其成本通常低于金属屏,并且非常易于使用。在制造成本、耐久性和可维护性方面,石墨绝缘软毡比石墨绝缘硬毡具有一定的优势。